JONSN微型齿轮泵半导体光刻与图形化制程方案,覆盖光刻胶精密涂布、显影液均匀供给、BARC/TARC超薄膜涂布、晶边清洗溶剂输送、厚胶高粘度供液五大场景。MPG渐开线齿形无脉动无气泡计量精度≤±0.3%光刻胶浪费率
JONSN微型齿轮泵半导体CMP抛光液输送方案,覆盖抛光液主供给、磨料悬浮循环、POU在线配比、大流量集中供液全场景。MPG渐开线齿形脉动≤±1%流量精度≤±0.5%保障WIWNU,低剪切95%防团聚沉降,WC/SiC/ZrO₂齿轮副设计寿...
JONSN MPG系列精密计量齿轮泵半导体先进封装电镀方案,覆盖凸块电镀、TSV硅通孔、RDL再分布层、大马士革电镀核心工艺。±0.2%流量控制精度远超行业±1%标准,≤1%脉动率保障镀层微观均匀性,哈氏合金C-276泵头+陶瓷PEEK齿轮...