磨料磨损

CMP浆料含纳米级SiO₂/Al₂O₃/CeO₂磨料颗粒，硬度高，常规泵内部件快速磨损

泵寿命短，维护频繁，停机成本高

颗粒团聚沉降

磨料颗粒在低流速或高剪切区域易团聚沉降，分布不均

抛光速率波动，晶圆表面出现划痕或碟形坑

化学腐蚀

浆料pH值跨度大（酸性至碱性），含氧化剂、络合剂等腐蚀性成分

泵体腐蚀导致金属离子污染，危及晶圆良率

流量脉动

晶圆抛光要求浆料连续均匀供给，流量脉动会导致抛光不均

晶圆平坦化一致性差，局部过抛或欠抛

剪切降解

高剪切力会破坏磨料颗粒的粒径分布与悬浮稳定性

浆料性能下降，有效颗粒比例降低

流量精度

±1% 以内，确保抛光速率稳定可控

流量脉动

<3%，保障浆料连续均匀供给

耐腐蚀性

流道全氟塑料/陶瓷材质，耐受pH 1~14全范围腐蚀

金属离子污染控制

流道零金属裸露，溶出离子 < 1 ppb

剪切控制

低剪切设计，保持磨料粒径分布（D50）不变

密封方式

磁力耦合无动密封，零泄漏，杜绝环境污染与浆料外泄

清洁兼容性

支持CIP在线清洗，流道无死角，防止交叉污染

防护等级

IP55及以上，适应洁净室环境

驱动方式

磁驱动（无密封零泄漏）

流量范围

0.01 – 50 mL/min

流量精度

±0.3% – ±0.5%

流量一致性（批间）

±0.5% – ±1%

每转排量

0.05 – 0.50 mL/rev

最大出口压力

0.6 – 1.0 MPa

粘度兼容范围

1 – 5,000 cP

泵体材质

PTFE / PEEK / SS316L

齿轮材质

PEEK / PTFE / SS316L

温控接口

可选集成加热套（±0.5°C）

接口尺寸

1/8" – 1/4" NPT

洁净等级

ISO Class 5

适用介质

光刻胶 / 显影液 / 蚀刻液 / CMP Slurry

零泄漏磁力驱动

磁力耦合器取代传统机械密封，无动密封点

杜绝浆料泄漏与环境污染，满足洁净室要求

全耐腐蚀流道

泵腔、齿轮均采用PTFE衬里+工程陶瓷材质

耐受pH 1~14全范围腐蚀，金属离子溶出<1ppb

低剪切稳流设计

优化齿轮型线与间隙配合，控制流体剪切速率

保护磨料粒径分布，延长浆料有效寿命

高精度计量

精密齿轮加工+伺服驱动，流量精度±0.5%~1%

抛光速率稳定，提升晶圆平坦化一致性

超低脉动

多齿数齿轮+消脉动结构设计

流量脉动<3%，避免抛光不均缺陷

长寿命耐磨

工程陶瓷齿轮硬度高、耐磨性优异

使用寿命较常规泵提升3~5倍，降低维护成本

CIP兼容设计

流道无死角，支持在线清洗与在线灭菌

减少换线停机时间，防止交叉污染

泵使用寿命短，频繁更换

纳米磨料颗粒对泵内部件持续冲刷磨损

采用工程陶瓷齿轮+PTFE衬里泵腔，耐磨寿命提升3~5倍

浆料中金属离子超标

泵体金属部件被腐蚀溶出，污染浆料

全塑/陶瓷流道，零金属裸露，离子溶出<1ppb

抛光速率波动大

流量不稳定，浆料供给脉动

伺服驱动+闭环控制，脉动<2%，流量精度±0.5%

浆料颗粒团聚沉降

泵内存在高剪切死区或低流速区域

低剪切齿轮型线+无死角流道，保持颗粒悬浮均匀

换线清洗困难

泵腔存在死角，浆料残留难清除

CIP兼容设计，流道光滑无滞留，支持自动在线清洗

管路存在泄漏风险

传统机械密封在腐蚀环境下易失效

磁力耦合无动密封，从结构上杜绝泄漏